小型離子濺射儀 型號:YBT3-SD-3000

原理：
依據二極(DC)直流濺射原理。濺射電流調整控制器、微型真空氣閥在工作時(shí)結合內部自
動(dòng)控制電路控制真 空室壓強、電離電流及選擇所需要的電離氣體。根據電場(chǎng)中氣體電離
te 性，采用da 容量樣品濺射真 空室和相應面積濺射靶，使濺射鍍層均 勻 純 凈。

小型離子濺射儀 型號:YBT3-SD-3000

參數：
? 主機規格：340mm×390mm×300mm（W×D×H）
? 靶（上部電極）：金：50mm×0.1mm（D×H）
? 靶材：Au（標配）
? 樣品室：硼硅酸鹽玻璃 160mm×120mm（D×H）
? 靶材尺寸：Ф 50mm
? 真空指示表： zui 高 真 空度：≤ 4X10-2 mbar
? 離子電流表： zui 大 電流：50mA
? 定時(shí)器： zui 長(cháng)時(shí)間：1-360s
? 微型真 空氣閥：可連接φ 3mm 軟管
? 可通入氣體： 多種
? zui 高電壓： -2800 DCV
? 機械泵：標準配置 2L/S（國產(chǎn) VRD-8）
用途：
適用于電鏡實(shí)驗室的掃描電子顯微鏡（SEM）樣品制備，非導體材料實(shí)驗電極制作。
特點(diǎn)：

2、可調節濺射電流和真空室壓強以控制鍍膜的速率和顆粒的大小。
3、SETPLASMA 手動(dòng)啟動(dòng)按鈕可預先設置好壓強和濺射電流避免對膜造成不 必 要的損 傷。
4、真 空保護可避免真 空過(guò)低造成設備短路。
5、同時(shí)可以通過(guò)換不同的靶材（金、鉑、銥、銀、銅等），以達到geng 細顆粒的涂層。
6、通過(guò)通入不同的惰性氣體以達到純凈的涂層。
7、高壓輸出涂層牢固，適用于非導體材料實(shí)驗電極制作。