2路質(zhì)子混氣系統 型號:WH/MXGQ-2Z庫號：M403821

用于控制一種或兩種的氣體流經(jīng)真空密封的管式爐，這種氣體控制系統安裝在移動(dòng)架上，管式爐可以放在它的上面，氣體控制系統的前面板上有控制并顯示氣體流量的調節閥。結合微行爐業(yè)的管式爐，它可以用于CVD系統及退火爐，用來(lái)研究氣體環(huán)境對材料的影響。

質(zhì)量流量控制器
工作電壓：220V
zui大輸出功率：18W
控制范圍：
控制器1：1-199 SCCM
控制器2：1-499 SCCM
工作溫度：5-45 oC
zui大壓力：3x 10^6 Pa
準確度：±1%FS
機械壓力表測量范圍：-0.1-0.15MPa(0.01 MPa/grid)
針型閥：304不銹鋼
混氣罐：Φ80*120MM
截止閥：Φ1/4 304不銹鋼
外形尺寸：600*600*650MM

2路質(zhì)子混氣系統 型號:WH/MXGQ-2Z庫號：M403821

2路質(zhì)子混氣系統 型號:WH/MXGQ-2Z庫號：M403821

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